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      产品概览 技术规格 资料下载 行业应用

      集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身


      日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。

      SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。





      SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察


      样品台可搭载超大/超重样品

      · 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
      · 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率
      · 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

      · 红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性


      支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
      · 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机
      · 覆盖整个可观察区域
      · 支持360度旋转


                        

      随着各种自动化功能的强化,操作性能得到了进一步优化


      一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
      各种自动化功能
      · 自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
      · 提高了自动聚焦精度
      · 搭载Intelligent Filament Technology(IFT)
      Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察
      Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告


                                               

      可提供满足测试需求的应用解决方案


      可满足多种观察需求的探测器
      · 搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察
      · 高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像
      配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件
      · SEM/EDS一体化功能*
      三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
      支持图像测量软件Image pro
      *配件