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      超高分辨场发射扫描电子显微镜 Regulus系列
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      超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列


      "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。




      现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
      "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。
      通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
      此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
      Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的*佳性能。
      (*1仅 限Regulus8240/8230/8220)
      特点:


      · 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
      · 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的*佳性能
        (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
      · 采用污染小、高真空样品仓
      · 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2