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      产品概览 技术规格 资料下载 行业应用

      测定时间*多缩短25%*2通过超声波高精度、高速检查半导体、电子零部件

      提供利用超声波的反射、穿透特性非破坏检测半导体、电子零部件内部的细微结构、缺陷并将其转换为图像的装置——“FineSAT 系列”。
      为了应对近年来的需求高度化,强化以往机型“FineSAT Ⅲ”的功能,开发了能进行更高精度、更高速的测定、检查的“FineSAT Ⅴ”。
      “FineSAT Ⅴ”将独自开发的数据处理软件、为高速处理大量数据而新采用的64bit处理系统和高速、高精度扫描仪组合在一起,缩短了检查、解析时间。





      特点

      采用提高了解析能力的64bit处理系统
      标准配置可*多保存、处理4亿点超声波测定的数据,选购配置*1时,可*多保存、处理20亿点超声波测定的数据。 这样,以往使用FineSAT Ⅲ时,对8英寸的晶圆进行1次测定并转换成图像时的*小测定间距为40 μm,而现在使用FineSAT Ⅴ,标准配置能以20 μm的微小间距取得数据并转换为图像,选购配置时,能以10 μm以下的微小间距取得数据并转换为图像,所以1次扫描就可完成大样品的详细测定。 另外,还可进行支持高精度解析、评价的多种图像显示。

      扫描仪的*大扫描速度提高到2,000mm/s,缩短了检查时间

      测定晶圆等大样品时,扫描仪的扫描速度对测定时间的影响很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速扫描仪,还将超声波脉冲的发生周期降低到1/2,这样,测定时间缩短了25%*2。 

      除了加减速时,扫描仪的*大扫描速度提高到2,000mm/s*3,通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动,所以高速扫描也能获得鲜明的图像。


      考虑了设置场所、作业性的装备
      考虑在洁净室内的使用的情况,扫描仪的门采用上弹方式,同时,作为门的选购件,还准备了防静电型透明板,提高了防尘性。
      为了设置样品、维护设备时可顺畅拆装台面、框架,前面的下部窗口可向下180°全开。
      本体操作部位采用防静电板,抑制操作员静电的影响。
      本体电源ON就可进行升降机的升降操作。不用启动FineSAT软件就可动作。

      标准装备便携控制器。 以往,移动扫描仪内的探头时,要用鼠标或键盘操作显示器画面内的按钮,来回移动视线,查看、操作探头和监视器或键盘。 

      如果使用便携控制器,不用离开视线,就可对探头位置进行微调整。

      配备23英寸显示器,大幅提高数据解析等的视认性、作业性。
      可选择双显示器。

      *1GUIPC为选购件的情况。

      *2与本公司以往机型相比,因条件而有所不同。

      *3因测定条件不同,*大扫描速度可能受到限制。




      功能
      采用的64bit处理系统,大幅强化解析功能。


      ■ 高分辨率波形显示

      能将超声波的测定时间单位设定为以往的1/4,所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 

      不断细微化、多层化的电子装置的薄层内的缺陷、层间剥离的检测、深度位置信息的精度提高。


      ■ 多焦点
      通过扫描时连续改变焦点位置的功能,1次测定就可获得对焦不同的多个深度的图像,所以能防止漏看缺陷。

      ■ 多闸门缩略图显
      对于通过多闸门测定的多个不同信息的图像,可生成缩略图,转换为容易选择的一览显示。
      缩略图图像可单独变更调色板。

      ■ 覆盖物显示(反射图像/透射图像重叠)
      可重叠显示通过反射法/透射法同时测定取得的2个图像。另外,对于显示的图像,可调整透明度,所以可设定为容易判断的图像。

      ■ 作为选购件,准备了图像锐化、体积图像、孔隙浏览器等软件

      可与图像锐化软件(对超声波信号劣化进行补正,使图像更加鲜明)、体积图像软件(在测定后将收集的波形数据解析为测定图像和波形)、孔隙浏览器软件(显示孔隙(缺陷)后进行合格与否判定、统计处理)等高度的解析软件组合。


      ■ 追随扫描功能
      这种扫描方式可适于与不平整的弯曲晶圆、扭曲的被检体。
      扫描时可追随被检体的表面。