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      产品概览 技术规格 资料下载 行业应用

      FS LINE采用大型扫描仪和大型水槽


      可应对FineSAT系列装置不能应对的大型对象物(如FPD、面向太阳能电池的溅镀靶材、陶瓷零部件等不断大型

      化的材料、零部件)的检查。

      除了单焦点探头用的FS LINE以外,还准备了同时使用单探头和阵列探头,可以缩短大型对象物的检查时间的FS LINE Hybrid。
      同时,作为选购件,还准备了用于检查筒状/圆柱状对象物的表面的旋转台。关于水槽和扫描仪尺寸,也请随时咨询。



      FS LINE FS LINE Hybrid
      探头方式 单探头的机械扫描方式 支持机械扫描或相控阵探头电子扫描两种方式
      接合部分的检查时间事例(*) 约10分钟 1分30秒
      (通过相控阵探头的电子扫描进行测定)

      *(测定范围2,500×300mm、2mm间距扫描时)


      特点、规格:


      FS LINE能进行高精度的测定,还拥有基于FineSAT的使用方便性,並重视安全性。
      FS LINE Hybrid在低频范围的阵列探头上实现了高阻尼化。 这样,可同时进行靶材和背板的接合检查和靶材内部的孔隙检查。
      而且,单焦点探头难以检查的边缘斜面用斜角电子扫描也可进行检查。
      型号 新型装置
      同时发送接收数量 *多32个振子
      支持振子数 *多128个振子
      阵列方向电子聚焦 可编程
      接收范围 5, 10, 15MHz
      FS LINE Hybrid规格(阵列相关)
      斜角电子扫描声束控制示意图


      扫描仪有效扫描范围:


      有效扫描范围
      750×800
      1,550×2,000
      4,000×2,000
      (単位:mm)

      有效扫描范围4,000×2,000的事例